主要规格及技术指标

1、X射线源：单色化Al Kα射线源，X射线束斑直径10μm至400μm连续可调，可实现样品表面聚焦及扫描（10μm~1400μ×1400μm）。
2、Ar离子枪：溅射区域从最小束斑到10x10mm连续可调，离子能量为0-5keV连续可调。
3、GCIB离子枪：离子溅射的电压、束流、束斑等多参数可调。
4、紫外光源UPS：He I 灵敏度 Ag 4d @ 3 Mcps，能量分辨率优于110 meV。
5、双束中和系统：独立调节电子束和离子束，高质量获谱（PET中O=C-O中C1s FWHM ≤ 0.85eV）。
6、全自动五轴样品台：可实现X、Y、Z 方向的移动，常中心旋转0~360°，倾斜0°~90°，角度分辨≤±1º；冷热样品台可实现-140℃~800℃原位测试。